无氧洁净隧道炉
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产品详情
产品内容介绍
1、产品介绍
无氧洁净隧道炉能够在氧气浓度低至100 ppm 的气氛中,保持100级洁净度,最高加热温度可达 300℃ 的温度,并实现多温区烘烤产品。非常适合精密元器件晶圆,晶振退火,环氧树脂固化等热处理。连续式生产的模式,可以与前后工艺的自动化设备联动,实现自动化生产。
2、产品特点
●结构紧凑,占地面积小
●是多种产品类型的小批量生产的理想选择
●箱体采用全氩弧焊焊接保证了持续的箱体密封性
●自动充氮系统
●配备HEPA耐高温高效过滤器构筑无尘环境
●外部采用烤漆双重箱体结构
●触摸屏集成控制
3、选配功能
●无纸记录仪
●485通讯或以太网通讯
●氧气含量分析仪
4、产品参数
型号 |
YH-CL100-SDL-4500 |
含氧控制 |
100PPM以内 |
过滤效率 |
0.3um,>99.99% |
温度范围 |
Room temp. +20~300℃ |
控温精度 |
+/- 1.0℃ |
温度均匀性 |
±2.5%℃ |
内尺寸H*W*L |
60*500*3500(mm) |
外尺寸H*W*L |
1850*1300*4500(mm) |
电源 |
3 phase AC380V |
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